PVD设备研发主管

主要职责 1、负责PVD设备整机及子系统（包括真空腔体、磁体、加热系统、气体分配系统等）的设计开发与性能优化。 2、主导真空腔体的结构设计与仿真分析，确保其在工艺运行中的稳定性、均匀性及低颗粒污染特性。 3、牵头磁体系统的方案设计与改进，实现对薄膜沉积均匀性与晶体质量的精确调控。 4、开展温度场、流体场、电磁场等多物理场耦合仿真及实验验证，提升设备工艺表现与运行可靠性。 5、制定并实施颗粒物控制与膜层均匀性优化策略，助力设备在客户现场达到优异工艺指标。 6、带领技术团队攻克核心难题，编制设计文件、专利材料及相关技术文档。 7、协同跨部门资源，保障研发项目按期高质量完成，并配合市场与客户进行技术沟通与支持。 任职要求 1、本科及以上学历，机械工程、物理、材料科学、真空工程等相关专业背景。 2、具备8年以上PVD设备研发经历，有国内主流半导体设备公司工作经验者优先考虑。 3、精通PVD设备硬件体系结构，拥有丰富的真空腔体结构设计与优化经验（重点考察方向）。 4、掌握磁体系统（如磁控溅射中磁路结构）的设计原理与工程实现方法。 5、熟练运用温场、流场仿真工具（如CFD），具备独立开展仿真分析与实验调优的能力。 6、具有成熟的颗粒控制与薄膜均匀性（uniformity）改善经验，熟悉相关检测手段与分析流程。