浙江芯晖装备技术有限公司

公司简介 芯晖装备成立于 2018 年，是一家集半导体专用设备的研发、生产、销售为一体的高新技术企业。公司致力于半导体装备和核心部件的国产化研发及制造。自主研制的晶体生长、研磨抛光、光学量测、化学检测、芯片测试等设备， 已广泛运用于半导体集成电路制造的前、中、后道。 芯晖装备将持续为半导体行业客户提供创新技术与产品解决方案，坚持客户导向、创新拼搏、追求卓越、协作共赢， 将芯晖装备打造成为值得信赖的半导体装备与方案提供商，成为高端半导体智能装备领域受人尊敬的企业，为民族芯，晖光日新。 发展历程 2018年4月：浙江芯晖装备技术有限公司成立 2018年9月：公司基地【欣晖半导体产业园】奠基 2019年7月：西安芯晖设备技术有限公司成立 2020年5月：一代200mm 研磨/200mm 抛光/300mm抛光设备开发成功 2020年12月：国内首台电子级单晶炉研发成功；二代300mm 抛光设备开发成功 2021年3月：浙江芯晖检测技术有限公司成立，第一台磨抛/ 测试设备顺利交付客户 2021年7月：12英寸硅单晶炉客户验证通过（PCN验证） 2021年12月：首台铜雾离子检测设备交付客户 2022年3月：一代300mm 研磨设备开发成功；一代150mmSiC 研磨设备交付客户 2022年12月：ADS 首台客户验证通过；晶圆金属污染检测设备交付客户验证；12英寸硅单晶炉年产突破20台 2023年2月：北京芯晖技术有限公司成立 2023年9月：上海芯晖芯智技术有限公司成立 企业文化 使命：创新改变世界 愿景：值得信赖的半导体装备与方案提供商 价值观：以客户为中心、以技术为基石、以品质为生命、以成果为导向、以奋斗者为本、以自省促卓越 经营管理原则：诚信、规范、透明、负责